SU7000是一臺實現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。
接下來請欣賞SU7000帶來的多彩世界。
*圖為包含選配項的SU7000示意圖
Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000核心理念:
1.采用優(yōu)的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng),使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時間內(nèi)獲得更的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器,還引進了相應(yīng)的成像功能。SU7000多可同時顯示和保存6通道信號。實現(xiàn)了獲得樣品信息的更大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
大型樣品觀察
低真空觀察
低溫觀察
實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備,觀察方法也是一應(yīng)俱全。
4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍,大束流可達到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、熒光分析等,接口設(shè)備可通過選配附件滿足多種特殊需求。
Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000規(guī)格:
| 
					 項目  | 
				
					 內(nèi)容  | 
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					 圖像分辨率  | 
				
					 二次電子分辨率  | 
				
					 0.8 nm/15 kV  | 
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					 0.9 nm/1 kV  | 
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					 放大倍率  | 
				
					 20~2,000,000 x  | 
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					 電子槍  | 
				
					 發(fā)射體  | 
				
					 ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射)  | 
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					 加速電壓  | 
				
					 0.1~30 kV (步進:0.01 kV)  | 
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					 束流  | 
				
					 大200 nA  | 
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					 探測器  | 
				
					 標(biāo)準(zhǔn)探測器  | 
				
					 UD (上探測器)  | 
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					 MD (中探測器)  | 
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					 LD (下探測器)  | 
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					 選配探測器*1  | 
				
					 PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器)  | 
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					 UVD(高靈敏度低真空探測器 )  | 
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					 低真空模式*1  | 
				
					 樣品倉壓力范圍  | 
				
					 5~300 Pa  | 
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					 可使用探測器  | 
				
					 PD-BSED, UVD, UD, MD, LD  | 
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					 馬達臺  | 
				
					 馬達臺控制  | 
				
					 5軸馬達驅(qū)動  | 
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					 移動范圍  | 
				
					 X  | 
				
					 0~135 mm  | 
			|
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					 Y  | 
				
					 0~100 mm  | 
			||
| 
					 Z(WD)  | 
				
					 1.5~40 mm  | 
			||
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					 T(傾斜角)  | 
				
					 -5~70°  | 
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					 R(旋轉(zhuǎn)角)  | 
				
					 360°  | 
			||
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					 樣品尺寸  | 
				
					 大直徑:φ200 mm, 大高度:80 mm  | 
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					 顯示器*1  | 
				
					 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏  | 
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					 圖像顯示模式  | 
				
					 全屏顯示模式  | 
				
					 1,280×960像素顯示  | 
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					 單屏顯示模式  | 
				
					 800×600像素顯示  | 
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					 雙屏顯示模式  | 
				
					 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2  | 
			||
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					 四屏顯示模式  | 
				
					 640×480像素顯示  | 
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					 六屏顯示模式*2  | 
				
					 640×480像素顯示 *2  | 
			||
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					 圖像數(shù)據(jù)保存  | 
				
					 保存圖像尺寸  | 
				
					 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680  | 
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					 選配附件  | 
				
					 能譜儀(EDX)  | 
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					 X射線波譜儀(WDX)  | 
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					 電子背散射衍射(EBSD)  | 
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					 陰熒光探測器(CL)  | 
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					 冷凍傳輸系統(tǒng)  | 
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					 各種功能樣品臺  | 
			|||
*1為選配項。
*2支持雙屏顯示。
    
    
